博士论文-LIGA技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 伊福廷
|
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2000 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 冼鼎昌 |
| 关键词 | LIGA技术 MEMS技术 微细加工技术 同步辐射光刻 微结构技术 |
| 学位专业 | 粒子物理与原子核物理 |
| 中文摘要 | 在现代技术的几乎所有领域，功能元件的小型化都是一个成功的关键战略，微机电系统（MEMS）就是这一小型化的典型代表。微加工技术为这些创新产品的实现打开了一条通路。微电子技术是小型化成功战略的先行者，并创造了大量的就业机会，微加工技术应用的巨大多样性将会超过微电子技术的应用和市场范围。LIGA技术是微加工技术的一个重要手段，由于它有着其他技术无法实现的优越性能，近些年来得到了较快的发展。该技术包括深度同步辐射光刻，电铸和塑铸三个工艺环节。由于同步辐射具有非常好的平行性和非常广的X光光谱，使得光刻出的胶结构具有非常高的精度和结构深度，在这方面是任何其他光源所不能相比的。本论文对LIGA技术进行了较详细的综合论述，给出了许多研究成果。包括了掩模的制造，同步辐射性能，深度光刻技术，深度电铸技术等。LIGA技术是一项非常复杂的技术，仅掩模的制造就包含真空镀膜技术、光刻技术、电镀技术、刻蚀技术等。经过多年的努力，对上述技术进行了深入的研究和大量的实验，解决了工艺中遇到的出现的许多困难和问题，已基本上掌握了除塑铸外的LIGA技术工艺。在开展LIGA技术研究的同时，进行了微结构产品的设计和制造，并结合实际器件加工中的需要，创造性地提出了上牺牲层技术、上表面套刻技术、悬空微条气体室探测器。这些技术在实际的微镊子和微型步进电机加工中得到了应用，取得了非常好的效果。上牺牲层技术申请了国家发明专利，悬空微条气体室探测器已获得了国家实用新型专利。 |
| 学科主题 | 粒子物理与原子核物理 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/210280]  |
| 专题 | 多学科研究中心_学位论文和出站报告 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 伊福廷. 博士论文-LIGA技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2000. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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