硕士论文-氯化铯纳米岛生长及光刻技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 罗亮 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 伊福庭 |
| 关键词 | 纳米岛 自组装技术 NEMS 纳米加工技术 反应离子刻蚀 |
| 学位专业 | 凝聚态物理 |
| 中文摘要 | 本文利用表面动力学原理，深入分析了氯化铯纳米岛生长过程，通过大量生长实验以及工艺参数优化，生长出多种尺寸和不同覆盖率的氯化铯纳米岛结构，并且总结出纳米岛直径尺寸、覆盖率与工艺参数之间的关系。氯化铯纳米岛结构尺寸和覆盖率取决于氯化铯薄膜厚度、显影时间和相对湿度。; 氯化铯岛结构材料本身没有实用价值，但可以将该岛结构转移到所需要的材料上。反应离子刻蚀技术效率高、选择性好，因此在氯化铯纳米岛结构转换中得到应用。 |
| 学科主题 | 凝聚态物理 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/210410]  |
| 专题 | 多学科研究中心_学位论文和出站报告 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗亮. 硕士论文-氯化铯纳米岛生长及光刻技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2008. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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