CROSS-SECTIONAL TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY OF SILICON LSI CIRCUITS AND JOSEPHSON JUNCTION DEVICES
文献类型：期刊论文
| 作者 | DU AY ; CHU YM |
| 刊名 | journal of electron microscopy technique
 |
| 出版日期 | 1987 |
| 卷号 | 7期号:4页码:319-322 |
| ISSN号 | 0741-0581 |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2010-11-15 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/14623]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | DU AY,CHU YM. CROSS-SECTIONAL TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY OF SILICON LSI CIRCUITS AND JOSEPHSON JUNCTION DEVICES[J]. journal of electron microscopy technique,1987,7(4):319-322. |
| APA | DU AY,&CHU YM.(1987).CROSS-SECTIONAL TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY OF SILICON LSI CIRCUITS AND JOSEPHSON JUNCTION DEVICES.journal of electron microscopy technique,7(4),319-322. |
| MLA | DU AY,et al."CROSS-SECTIONAL TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY OF SILICON LSI CIRCUITS AND JOSEPHSON JUNCTION DEVICES".journal of electron microscopy technique 7.4(1987):319-322. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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