硅上硅化钛相变和生长动力学研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 胡仁元; 王忠烈; 刘伊犁; 谢葆珍 |
| 刊名 | 北京师范大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 1986 |
| 期号 | 1页码:28-30 |
| 关键词 | 生长动力学 硅化物 抛物线规律 衍射谱 退火时间 原子数 反应生成物 酸水溶液 表面氧化 难熔金属 |
| 其他题名 | INVESTIGATION OF PHASE CHANGE AND GROWTH KINETICS OF TITANIUM SILICIDE ON SILICON |
| 中文摘要 | 用RBS及X线衍射研究了硅上钛薄膜退火时形成硅化物的相变和生长动力学。650℃退火形成TiSi_2相,TiSi_2层生长服从Kidon抛物线层生长规律。 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/220918]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡仁元,王忠烈,刘伊犁,等. 硅上硅化钛相变和生长动力学研究[J]. 北京师范大学学报(自然科学版),1986(1):28-30. |
| APA | 胡仁元,王忠烈,刘伊犁,&谢葆珍.(1986).硅上硅化钛相变和生长动力学研究.北京师范大学学报(自然科学版)(1),28-30. |
| MLA | 胡仁元,et al."硅上硅化钛相变和生长动力学研究".北京师范大学学报(自然科学版) .1(1986):28-30. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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