沟道效应及某些应用的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王豫生; 阎建华; 郑胜男; 殷士端; 张敬平; 顾诠; 代爱平; 谢葆珍; 刘士杰 |
| 刊名 | 核技术
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| 出版日期 | 1987 |
| 期号 | 6页码:23-28+61 |
| 关键词 | 沟道效应 辐射损伤测定 表面组分分析 异质外延层的缺陷分析 |
| 其他题名 | CHANNELILING EFFECT AND ITS APPLICATION |
| 中文摘要 | 本文介绍沟道-背散射分析的实验装置。用沟道-背散射方法进行了辐射损伤测定、表面组分分析、异质外延层的缺陷分析,得到了一些对半导体材料工艺、集成电路研制的有意义的结果。 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/220992]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王豫生,阎建华,郑胜男,等. 沟道效应及某些应用的研究[J]. 核技术,1987(6):23-28+61. |
| APA | 王豫生.,阎建华.,郑胜男.,殷士端.,张敬平.,...&刘士杰.(1987).沟道效应及某些应用的研究.核技术(6),23-28+61. |
| MLA | 王豫生,et al."沟道效应及某些应用的研究".核技术 .6(1987):23-28+61. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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