聚磷酸酯蚀刻产物在NaOH溶液中的浓度对体蚀刻速度及相对灵敏度的影响
文献类型:期刊论文
作者 | 吴日升; 崔浣华 |
刊名 | 核技术
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出版日期 | 1988 |
期号 | 9页码:8--9 |
关键词 | 蚀刻产物 体蚀刻速度 相对灵敏度 |
其他题名 | EFFECT OF THE CONCENTRATION OF POLYCARBONATE ETCHING PRODUCTS IN NaOH SOLUTION ON BULK ETCH RATE AND RELATIVE SENSITIVITY |
通讯作者 | 吴日升 |
中文摘要 | 本文研究聚碳酸酶C_(pc)(国产)和L_(pc)(Lexan)蚀刻产物在温度60、70℃和6、7mol/l NaOH溶液中的浓度对体蚀刻速度V_g及相对灵敏度(V_T/V_g)的影响。L_(pc)和C_(pc)的V_g值随它们的蚀刻产物浓度的上升而增加,在蚀刻产物浓度达到某一值后V_g趋于平稳,并保持此最大值;而V_T/V_g值基本上不随蚀刻产物浓度而变化。 |
公开日期 | 2016-02-25 |
源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221038] ![]() |
专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴日升,崔浣华. 聚磷酸酯蚀刻产物在NaOH溶液中的浓度对体蚀刻速度及相对灵敏度的影响[J]. 核技术,1988(9):8--9. |
APA | 吴日升,&崔浣华.(1988).聚磷酸酯蚀刻产物在NaOH溶液中的浓度对体蚀刻速度及相对灵敏度的影响.核技术(9),8--9. |
MLA | 吴日升,et al."聚磷酸酯蚀刻产物在NaOH溶液中的浓度对体蚀刻速度及相对灵敏度的影响".核技术 .9(1988):8--9. |
入库方式: OAI收割
来源:高能物理研究所
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