北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统
文献类型：期刊论文
| 作者 | 崔明启 ; 刘丽冰; 徐文轩; 唐鄂生; 吴坚武; 王培玮; 尹福廷; 陈光辉
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| 刊名 | 核电子学与探测技术
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| 出版日期 | 1992 |
| 期号 | 6页码:337-343 |
| 关键词 | 同步辐射 X光光刻监测系统 垂直位置 均匀性 |
| 其他题名 | THE BEAM MONITORING SYSTEM FOR 3B1 ON BSRF |
| 通讯作者 | 崔明启 |
| 中文摘要 | 本文介绍了安装在北京同步辐射装置(BSRF)3B1束线上的自制同步辐射光束在线监测系统,对光束垂直位置、光斑均匀性及光刻曝光量(同步光积分光强)实现了在线监控,给出了实时在线测试结果。 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221233]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 高能物理研究所_加速器中心 中国科学院高能物理研究所_大装置管理中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 崔明启,刘丽冰,徐文轩,等. 北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统[J]. 核电子学与探测技术,1992(6):337-343. |
| APA | 崔明启.,刘丽冰.,徐文轩.,唐鄂生.,吴坚武.,...&陈光辉.(1992).北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统.核电子学与探测技术(6),337-343. |
| MLA | 崔明启,et al."北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统".核电子学与探测技术 .6(1992):337-343. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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