软X射线衍射色散元件
文献类型：期刊论文
| 作者 | 袁利祥; 范正修; 殷功杰; 崔明启 ; 沈孝良
|
| 刊名 | 量子电子学
 |
| 出版日期 | 1994 |
| 期号 | 2页码:88-89 |
| 关键词 | 沉积技术 崔明 菲涅耳波带片 衍射特性 孝良 光波长 离子束刻蚀 衍射角 反射型 扫描电子显微镜 |
| 中文摘要 | 软Ｘ射线衍射色散元件袁利祥，范正修，殷功杰（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海２０１８００）崔明启（中国科学院高能物理研究所，北京１０００３９）沈孝良（复旦大学分析测试中心，上海２００４３３）纳米量级的多层膜沉积技术和微电子制作技术的结合已使软ｘ... |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221358]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁利祥,范正修,殷功杰,等. 软X射线衍射色散元件[J]. 量子电子学,1994(2):88-89. |
| APA | 袁利祥,范正修,殷功杰,崔明启,&沈孝良.(1994).软X射线衍射色散元件.量子电子学(2),88-89. |
| MLA | 袁利祥,et al."软X射线衍射色散元件".量子电子学 .2(1994):88-89. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。