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悬空金属微条探头的制造

文献类型:期刊论文

作者伊福廷; 晋明; 唐鄂生; 谢一冈
刊名微细加工技术
出版日期1996
期号4页码:63-66
关键词核物理 微条气体室 微细加工 高能粒子探测器
其他题名MANUFACTURE OF HANGING METAL MICRO STRIP DETECTOR
通讯作者伊福廷
中文摘要悬空金属微条是探测高能粒子和X射线的新型探测器──微条气体室的探测元件。由微细加工制备的金属微条尺寸及其相互的位置精度都可控制在微米量级,因此能够得到非常好的空间分辨率,并具有抗辐射、低成本等独特优点。
公开日期2016-02-25
源URL[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221497]  
专题高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
伊福廷,晋明,唐鄂生,等. 悬空金属微条探头的制造[J]. 微细加工技术,1996(4):63-66.
APA 伊福廷,晋明,唐鄂生,&谢一冈.(1996).悬空金属微条探头的制造.微细加工技术(4),63-66.
MLA 伊福廷,et al."悬空金属微条探头的制造".微细加工技术 .4(1996):63-66.

入库方式: OAI收割

来源:高能物理研究所

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