利用LIGA技术研制超微步进电机
文献类型：期刊论文
| 作者 | 伊福廷 ; 彭良强; 张菊芳; 韩勇
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| 刊名 | 微特电机
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| 出版日期 | 2001 |
| 期号 | 3页码:18-20 |
| 关键词 | LIGA技术 超微步进电机 微机械系统 微加工技术 |
| 其他题名 | The Fabrication of Stepping Micro -motor Using LIGA Technology |
| 通讯作者 | 伊福廷 |
| 中文摘要 | 文章概述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镜照片等。该电机的转子和定子由LIGA技术制造完成 ,线圈由手工在显微镜下绕制完成 ,转子直径 2mm ,整个电机直径 5mm。 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221857]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 伊福廷,彭良强,张菊芳,等. 利用LIGA技术研制超微步进电机[J]. 微特电机,2001(3):18-20. |
| APA | 伊福廷,彭良强,张菊芳,&韩勇.(2001).利用LIGA技术研制超微步进电机.微特电机(3),18-20. |
| MLA | 伊福廷,et al."利用LIGA技术研制超微步进电机".微特电机 .3(2001):18-20. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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