甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈永明; 彭良强; 陈传福; 伊福廷 ; 习复
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2001 |
| 期号 | 3页码:64-67 |
| 关键词 | 甲基丙烯酸甲酯共聚物 LIGA 抗蚀剂 光敏性 |
| 其他题名 | Investigation of methyl methacrylate copolymers as the resist in LIGA process |
| 中文摘要 | 设计合成了具有头 -头结构的甲基丙烯酸甲酯共聚物以及含大空间侧基的甲基丙烯酸甲酯共聚物 ,研究了它们作为LIGA技术用抗蚀剂的光敏性能 ,结果表明适当大小空间侧基的引入 ,有助于改善甲基丙烯酸甲酯型抗蚀剂的光敏性。 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221859]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈永明,彭良强,陈传福,等. 甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究[J]. 微细加工技术,2001(3):64-67. |
| APA | 陈永明,彭良强,陈传福,伊福廷,&习复.(2001).甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究.微细加工技术(3),64-67. |
| MLA | 陈永明,et al."甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究".微细加工技术 .3(2001):64-67. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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