LIGA工艺在工程中的两类应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高杨; 李枚; 彭良强; 张菊芳 ; 黄军容
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| 刊名 | 核技术
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| 出版日期 | 2002 |
| 期号 | 10页码:883-888 |
| 关键词 | LIGA 密码锁 加速度开关 MEMS |
| 其他题名 | Two engineering applications of LIGA technology |
| 中文摘要 | 本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 ,初步分析了这两类组件制造对LIGA工艺的需求与要求 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221916]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高杨,李枚,彭良强,等. LIGA工艺在工程中的两类应用[J]. 核技术,2002(10):883-888. |
| APA | 高杨,李枚,彭良强,张菊芳,&黄军容.(2002).LIGA工艺在工程中的两类应用.核技术(10),883-888. |
| MLA | 高杨,et al."LIGA工艺在工程中的两类应用".核技术 .10(2002):883-888. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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