LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 彭良强; 伊福廷 ; 张院春; 邹丽芸; 张菊芳; 韩勇
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2002 |
| 期号 | 2页码:72-74 |
| 关键词 | 微细加工 LIGA技术 电火花加工 |
| 其他题名 | Fabrication of Stainless Steel Microstructure by LIGA and Micro- EDMTechniques |
| 通讯作者 | 彭良强 ; 伊福廷 ; 张院春 ; 邹丽芸 ; 张菊芳 ; 韩勇 |
| 中文摘要 | 通过LIGA技术与微细电火花技术相结合 ,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构 ,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。利用LIGA技术制备线宽 70 μm、厚度达 73 0 μm的铜工具电极 ,采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽 90 μm、具有复杂形状的微结构。 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221958]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭良强,伊福廷,张院春,等. LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究[J]. 微细加工技术,2002(2):72-74. |
| APA | 彭良强,伊福廷,张院春,邹丽芸,张菊芳,&韩勇.(2002).LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究.微细加工技术(2),72-74. |
| MLA | 彭良强,et al."LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究".微细加工技术 .2(2002):72-74. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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