同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘刚 ; 田扬超; 伊福廷; 彭良强
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| 刊名 | 物理
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| 出版日期 | 2002 |
| 期号 | 11页码:736-740 |
| 关键词 | LIGA技术 微电子机械系统 同步辐射光刻 |
| 其他题名 | INTRODUCTION TO LIGA TECHNOLOGY |
| 中文摘要 | 简述了微电子机械系统的起源和特点 ,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术 ,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明 ,并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统研发的现状 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221961]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 高能物理研究所_实验物理中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘刚,田扬超,伊福廷,等. 同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术[J]. 物理,2002(11):736-740. |
| APA | 刘刚,田扬超,伊福廷,&彭良强.(2002).同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术.物理(11),736-740. |
| MLA | 刘刚,et al."同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术".物理 .11(2002):736-740. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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