3B1束线上LIGA掩模的设计研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 黄军容; 彭良强; 伊福廷 ; 蒋毅坚; 张菊芳; 韩勇
|
| 刊名 | 微纳电子技术
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | Z1页码:147-150 |
| 关键词 | LIGA 掩模 X射线 |
| 其他题名 | Design on X-ray masks for LIGA station in 3B1 beamline |
| 通讯作者 | 黄军容 |
| 中文摘要 | BSRF中的 3B1光束线与LIGA实验站过去使用的 3W 1光束线相比 ,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱 ,但可实现专用光和兼用光两用。现在LIGA实验站移到 3B1光束线 ,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的 ,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算 ,分别得到了专用和兼用时 3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据 ,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模 :Au PI组合和Au Si组合。 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222065]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄军容,彭良强,伊福廷,等. 3B1束线上LIGA掩模的设计研究[J]. 微纳电子技术,2003(Z1):147-150. |
| APA | 黄军容,彭良强,伊福廷,蒋毅坚,张菊芳,&韩勇.(2003).3B1束线上LIGA掩模的设计研究.微纳电子技术(Z1),147-150. |
| MLA | 黄军容,et al."3B1束线上LIGA掩模的设计研究".微纳电子技术 .Z1(2003):147-150. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。