BSRF上的微细塑铸研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 韩勇 ; 彭良强; 陈迪; 伊福廷; 张菊芳; 黄军容
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| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | Z1页码:145-146 |
| 关键词 | LIGA 塑铸 X射线 |
| 其他题名 | Research on moulding of microstructure at BSRF |
| 通讯作者 | 韩勇 |
| 中文摘要 | 利用北京同步辐射装置 (BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具 ,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法。结果表明采用自制模压装置 ,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果 ;真空模压在这四种方法中具有最好的精度 ,但若不进行工艺参数优化 ,也会导致变形等问题 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222066]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩勇,彭良强,陈迪,等. BSRF上的微细塑铸研究[J]. 微纳电子技术,2003(Z1):145-146. |
| APA | 韩勇,彭良强,陈迪,伊福廷,张菊芳,&黄军容.(2003).BSRF上的微细塑铸研究.微纳电子技术(Z1),145-146. |
| MLA | 韩勇,et al."BSRF上的微细塑铸研究".微纳电子技术 .Z1(2003):145-146. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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