AlGaN/GaN异质结构的X射线衍射研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 谭伟石; 徐金; 蔡宏灵; 沈波; 吴小山; 蒋树声; 郑文莉 ; 贾全杰
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| 刊名 | 核技术
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 6页码:413-416 |
| 关键词 | AlGaN/GaN异质结构 倒易空间Mapping 应变弛豫 掠入射X射线衍射 |
| 其他题名 | X-ray diffraction studies on AlGaN/GaN heterostructures |
| 中文摘要 | 在(0001)取向的蓝宝石(α-Al2O3)基片上用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法生长了势垒层厚度为1000?的Al0.22Ga0.78N/GaN异质结构;;利用高分辨X射线衍射(HRXRD)技术测量了样品的对称反射(0002)和非对称反射(1014)的倒易空间Mapping(RSM)。结果表明;;样品势垒层的内部微结构与应变状态和下层i-GaN的微结构与应变状态互相关联。样品势垒层的微应变已经发生弛豫;;而且具有一种非常规”应变弛豫状态;;这种弛豫状态的来源可能与n-AlGaN的内部缺陷以及i-GaN/α-Al2O3界面应变弛豫状态有关。掠入射X射线衍射研究表明样品内部的应变是不... |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222132]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 中国科学院高能物理研究所_人力资源处 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭伟石,徐金,蔡宏灵,等. AlGaN/GaN异质结构的X射线衍射研究[J]. 核技术,2004(6):413-416. |
| APA | 谭伟石.,徐金.,蔡宏灵.,沈波.,吴小山.,...&贾全杰.(2004).AlGaN/GaN异质结构的X射线衍射研究.核技术(6),413-416. |
| MLA | 谭伟石,et al."AlGaN/GaN异质结构的X射线衍射研究".核技术 .6(2004):413-416. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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