氧化钒薄膜微观结构的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 潘梦霄; 曹兴忠 ; 李养贤; 王宝义; 薛德胜; 马创新; 周春兰; 魏龙
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| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 6页码:1956-1960 |
| 关键词 | 微观结构 氧化钒薄膜 择优取向 直流磁控溅射 |
| 其他题名 | Microstructural features of DC sputtered vanadium oxide thin films |
| 通讯作者 | 魏龙 |
| 中文摘要 | 采用直流磁控反应溅射在Si(1 0 0 )衬底上溅射得到 (0 0 1 )取向的V2 O5薄膜 .x射线衍射 (XRD)、扫描电镜 (SEM)和傅里叶变换红外光谱 (FTIR)的结果表明 ,氧分压影响薄膜的成分和生长取向 ,在氧分压 0 4Pa时溅射得到 (0 0 1 )取向的纳米V2 O5薄膜 ,即沿c轴垂直衬底方向取向生长的薄膜 .V2 O5薄膜经过真空退火得到 (0 0 1 )取向的VO2 薄膜 ,晶体颗粒长大 .对薄膜的分子结构和退火过程的晶格转换进行了分析 ,证实了氧分压对薄膜晶体结构的影响 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222206]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 高能物理研究所_核技术应用研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 潘梦霄,曹兴忠,李养贤,等. 氧化钒薄膜微观结构的研究[J]. 物理学报,2004(6):1956-1960. |
| APA | 潘梦霄.,曹兴忠.,李养贤.,王宝义.,薛德胜.,...&魏龙.(2004).氧化钒薄膜微观结构的研究.物理学报(6),1956-1960. |
| MLA | 潘梦霄,et al."氧化钒薄膜微观结构的研究".物理学报 .6(2004):1956-1960. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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