不同参数溅射的ZnO薄膜硫化后的特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张仁刚; 王宝义 ; 张辉; 马创新; 魏龙
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| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 5页码:2389-2393 |
| 关键词 | ZnS薄膜 磁控溅射 ZnO硫化 太阳电池 |
| 其他题名 | The properties of the as-sputtered ZnO films under different deposition parameters after sulfidation |
| 通讯作者 | 魏龙 |
| 中文摘要 | 采用直流反应磁控溅射法在玻璃和石英衬底上沉积了ZnO薄膜 ,然后将它们在H2 S气流中硫化得到ZnS薄膜 .用x射线粉末衍射仪 (XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)和UV VIS透过光谱对ZnS薄膜样品进行了分析 .结果表明 ,该ZnS薄膜为六角晶体结构 ,沿 (0 0 2 )晶面择优取向生长 ,其结晶状态和透过光谱与工作气压、Ar O2 流量比密切相关 .当气压高于 1Pa时 ,得到厚度很小的ZnS薄膜 ;而气压低于 1Pa时 ,沉积的ZnO薄膜则不能全部反应生成ZnS .另外 ,当Ar O2 流量比低于 4∶1或高于 4∶1时 ,结晶状态都会变差 .此外 ,由于ZnS薄膜具有高的沿 (0... |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222327]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 高能物理研究所_核技术应用研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张仁刚,王宝义,张辉,等. 不同参数溅射的ZnO薄膜硫化后的特性[J]. 物理学报,2005(5):2389-2393. |
| APA | 张仁刚,王宝义,张辉,马创新,&魏龙.(2005).不同参数溅射的ZnO薄膜硫化后的特性.物理学报(5),2389-2393. |
| MLA | 张仁刚,et al."不同参数溅射的ZnO薄膜硫化后的特性".物理学报 .5(2005):2389-2393. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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