用X射线衍射法测定氮化镓马赛克结构中的面内扭转角(英文)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 苏月永; 陈志涛; 徐科; 郭立平; 潘尧波; 杨学林; 杨志坚; 张国义 |
| 刊名 | 发光学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 4页码:514-518 |
| 关键词 | 氮化镓 马赛克结构 扭曲角 掠入射X射线衍射 X射线衍射 |
| 其他题名 | Twist Angle of Mosaic Structure in GaN Films Determined by X-ray Diffraction |
| 中文摘要 | Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体材料在发光二极管、激光器和探测器方面有着广泛的应用,采用高分辨X射线衍射来测定用金属有机化学气相沉淀法在蓝宝石衬底上生长的氮化镓外延层马赛克结构的扭转角,分别研究了(0002)、(101-3)、(101-2)、(101-1)、(202-1)五个面的X射线摇摆曲线,并且用Pseudo-Voigt方程拟合每一个面的摇摆曲线,我们利用外推法很方便地测得氮化镓外延薄膜的面内扭转角。另外我们采用同步辐射X射线掠入射衍射对样品进行(11-00)面反射扫描直接测得面内扭转角,对第一种方法进行验证,两种方法测量结果相同。从而提供一种简单、方便的GaN外延层的面内扭转角的测试方法,为深入研... |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222388]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 苏月永,陈志涛,徐科,等. 用X射线衍射法测定氮化镓马赛克结构中的面内扭转角(英文)[J]. 发光学报,2006(4):514-518. |
| APA | 苏月永.,陈志涛.,徐科.,郭立平.,潘尧波.,...&张国义.(2006).用X射线衍射法测定氮化镓马赛克结构中的面内扭转角(英文).发光学报(4),514-518. |
| MLA | 苏月永,et al."用X射线衍射法测定氮化镓马赛克结构中的面内扭转角(英文)".发光学报 .4(2006):514-518. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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