极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 朱京涛; 王占山; 王洪昌; 张众; 王风丽; 秦树基; 陈玲燕; 崔明启 ; 赵屹东; 孙丽娟
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 12页码:1886-1893 |
| 关键词 | 偏振光学元件 多层膜 相移片 检偏器 极紫外 同步辐射 |
| 其他题名 | Broadband aperiodic Mo/ Si multilayer polarization elements for EUV region |
| 中文摘要 | 研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片。基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制备了多层膜。利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征,利用德国BESSY-II同步辐射实验室的偏振测量仪对多层膜的偏振特性进行了测试。测量结果表明,在13 ～19 nm波段,s偏振分量的反射率高于15 %;在15 ～17 nm波段,获得了37 %的反射率。宽带多层膜同样可作为宽角偏振光学元件,在13 .8 ～15 .5 nm波段,宽带透射相移片的平均相移为41 .7°。采用所研制的宽带多层膜相移片与检偏器,建立了宽带偏振分... |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222501]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱京涛,王占山,王洪昌,等. 极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文)[J]. 光学精密工程,2007(12):1886-1893. |
| APA | 朱京涛.,王占山.,王洪昌.,张众.,王风丽.,...&霍同林.(2007).极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文).光学精密工程(12),1886-1893. |
| MLA | 朱京涛,et al."极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文)".光学精密工程 .12(2007):1886-1893. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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