微网气体探测器微结构SPACER的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 侯凤杰 ; 伊福廷; 樊瑞睿; 张菊芳; 廖元勋; 陈元柏; 欧阳群
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| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 7页码:419-423 |
| 关键词 | 多丝正比室 微网气体探测器 SU8胶 干膜 丝网 |
| 其他题名 | Study of a Micromegas with Microfabricated SPACER |
| 通讯作者 | 侯凤杰 |
| 中文摘要 | 在多丝正比室(MWPC)受到严重挑战的形势下,微网气体探测器(micromegas)以其响应时间快、计数能力高的优势而从各种新型的气体探测器中脱颖而出。本文介绍了利用两种方法制作微网气体探测器微结构的工艺,一种是利用准LIGA工艺,以SU8胶为绝缘层;另一种是利用干膜做绝缘层来制作微网气体探测器。对比分析了SU8胶和干膜对于制作微网气体探测器的优劣。实验证明,利用干膜制作的微网气体探测器性能更好。使用放射源55Fe对其能量分辨本领进行了实验研究,结果利用干膜制作的微网气体探测器得到了有效增益,测出了逃逸峰。另外,还分析了使用编织丝网和电铸镍网对微网气体探测器的影响,实验证明,电铸镍网更适合于微... |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222733]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 高能物理研究所_粒子天体物理中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 侯凤杰,伊福廷,樊瑞睿,等. 微网气体探测器微结构SPACER的研制[J]. 微纳电子技术,2009(7):419-423. |
| APA | 侯凤杰.,伊福廷.,樊瑞睿.,张菊芳.,廖元勋.,...&欧阳群.(2009).微网气体探测器微结构SPACER的研制.微纳电子技术(7),419-423. |
| MLA | 侯凤杰,et al."微网气体探测器微结构SPACER的研制".微纳电子技术 .7(2009):419-423. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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