背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 朱艳青; 梁静秋; 梁中翥; 黄鑫华; 乐孜纯; 伊福廷 ; 侯凤杰; 黄万霞; 董文; 王维彪
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| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 3页码:1526-1530 |
| 关键词 | 组合折射透镜 背面曝光 沙漏状 SU-8 |
| 其他题名 | Hourglass-shaped X-ray compound refractive lens made by back-mask exposure technology |
| 中文摘要 | 在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤,使制作更加简便易行.在10keV单色X射线辐射下,对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试,结果表明,所制作的透镜较好地实现了一维聚焦. |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222737]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱艳青,梁静秋,梁中翥,等. 背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜[J]. 物理学报,2009(3):1526-1530. |
| APA | 朱艳青.,梁静秋.,梁中翥.,黄鑫华.,乐孜纯.,...&崔乃迪.(2009).背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜.物理学报(3),1526-1530. |
| MLA | 朱艳青,et al."背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜".物理学报 .3(2009):1526-1530. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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