利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极
文献类型：期刊论文
| 作者 | 伊福廷 ; 李勇; 刘改红
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| 刊名 | 电加工与模具
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| 出版日期 | 2011 |
| 期号 | 5页码:14-17+25 |
| 关键词 | 电火花电极 异形阵列电极 大高宽比金属结构 LIGA技术 |
| 其他题名 | The Fabrication of Micro Poles with Array and Abnormity Structures for EDMUsing LIGA Process |
| 通讯作者 | 伊福廷 |
| 中文摘要 | 利用LIGA技术的优势,针对电火花电极结构特点开发出相应的加工工艺,完成电火花复杂结构电极的制造。电火花电极的特点是大高宽比的金属柱状结构,这对于LIGA技术工艺具有特殊的难度,需要突破深孔显影和电铸工艺难题。通过大量的工艺试验,优化出电火花电极阵列结构的工艺路线,圆满完成阵列结构和异形复杂结构的电极制造,为电火花技术在新领域的应用提供了技术支持。 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222858]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 中国科学院高能物理研究所_中国散裂中子源 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 伊福廷,李勇,刘改红. 利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极[J]. 电加工与模具,2011(5):14-17+25. |
| APA | 伊福廷,李勇,&刘改红.(2011).利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极.电加工与模具(5),14-17+25. |
| MLA | 伊福廷,et al."利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极".电加工与模具 .5(2011):14-17+25. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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