基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 章海军; 赵冬伟; 伊福廷 ; 王波; 张冬仙
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| 刊名 | 纳米技术与精密工程
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| 出版日期 | 2011 |
| 期号 | 5页码:436-439 |
| 关键词 | 光热微驱动器 微加工 微驱动 动态特性 激光 |
| 其他题名 | Photothermal Microactuator Manufactured by Excimer Laser |
| 中文摘要 | 提出了基于光热(PT)微膨胀原理的新型光热微驱动技术.设计了一种能将纵向光热膨胀转化成横向偏转的微驱动器.以AutoCAD设计图为基础,采用KrF准分子激光微加工系统,在单层高密度聚乙烯(HDPE)上加工出长1 500μm、宽250μm、厚40μm的开关式光热微驱动器.从微驱动器的扫描电子显微镜(SEM)图可以看出,微驱动器形状与AutoCAD设计值符合良好.光热微驱动实验采用脉冲频率可调的半导体激光器(4 mW,650 nm)作为驱动源.实验结果表明,在一定的脉冲频率范围(如0～17 Hz)内,光热微驱动器具有良好的静态和动态特性,其横向偏转量最大可达11μm,足以实现微开关功能.这种光热微... |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222896]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 章海军,赵冬伟,伊福廷,等. 基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文)[J]. 纳米技术与精密工程,2011(5):436-439. |
| APA | 章海军,赵冬伟,伊福廷,王波,&张冬仙.(2011).基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文).纳米技术与精密工程(5),436-439. |
| MLA | 章海军,et al."基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文)".纳米技术与精密工程 .5(2011):436-439. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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