BSRF上同步辐射深度光刻的实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 彭良强; 伊福廷 ; 韩勇; 张菊芳)
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| 刊名 | 高能物理与核物理
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| 出版日期 | 2001 |
| 期号 | S1页码:128-130 |
| 关键词 | 同步辐射深度光刻 超深结构 高深宽比 |
| 其他题名 | STUDY ON SYNCHROTRON RADIATION LITHOGRAPHY AT BSRF |
| 通讯作者 | 彭良强 |
| 中文摘要 | 大结构深度和高深宽比是同步辐射深度光刻的突出优点.提出采用现有掩模,进行多次曝光、显影的方法,实验获得厚2.2mm的胶结构.系列研究掩模、光刻胶、基底、光谱和光强对深宽比的影响,实验获得深宽比104的胶结构. |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/223178]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭良强,伊福廷,韩勇,等. BSRF上同步辐射深度光刻的实验研究[J]. 高能物理与核物理,2001(S1):128-130. |
| APA | 彭良强,伊福廷,韩勇,&张菊芳).(2001).BSRF上同步辐射深度光刻的实验研究.高能物理与核物理(S1),128-130. |
| MLA | 彭良强,et al."BSRF上同步辐射深度光刻的实验研究".高能物理与核物理 .S1(2001):128-130. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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