纳米岛光刻技术和它在同步辐射纳米光刻中的应用
文献类型：项目
| 作者 | 伊福廷 |
| 发表日期 | 2004 |
| 结束日期 | 2006-12-31 |
| 关键词 | MEMS NEMS 纳米结构 微加工 同步辐射光刻 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/198609]  |
| 专题 | 多学科研究中心_项目/基金 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 伊福廷.纳米岛光刻技术和它在同步辐射纳米光刻中的应用.2004. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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