多孔low-k薄膜材料的新型表征技术
文献类型：项目
| 作者 | 曹兴忠 |
| 发表日期 | 2007 |
| 结束日期 | 2009-12-31 |
| 关键词 | low-k薄膜材料 孔结构 慢正电子束流 正电子湮没 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/198635]  |
| 专题 | 多学科研究中心_项目/基金 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹兴忠.多孔low-k薄膜材料的新型表征技术.2007. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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