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100keV金属表面改性离子注入与混合两用机

文献类型:期刊论文

作者陈鉴璞; 邱宏; 舒传玉; 梁笳鸣; 李继纲; 姜福友; 郁庆长; 杜锡九; 竺仁全; 沈本蔚
刊名核技术
出版日期1994
期号1页码:5
关键词离子注入机 金属表面改性 离子束混合 离子源
其他题名A 100KEV ION IMPLANTATION AND MIXING MACHINE FOR METAL SURFACE MODIFICATION
通讯作者陈鉴璞
中文摘要叙述了100keV金属表面改性离子注入与混合两用机的总体结构及各主要部件的技术参数.该机经过调试各项主要指标已达到设计要求.工作稳定可靠,已开始金属材料表面改性实验。
公开日期2016-02-25
源URL[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/216975]  
专题高能物理研究所_加速器中心
推荐引用方式
GB/T 7714
陈鉴璞,邱宏,舒传玉,等. 100keV金属表面改性离子注入与混合两用机[J]. 核技术,1994(1):5.
APA 陈鉴璞.,邱宏.,舒传玉.,梁笳鸣.,李继纲.,...&魏成连.(1994).100keV金属表面改性离子注入与混合两用机.核技术(1),5.
MLA 陈鉴璞,et al."100keV金属表面改性离子注入与混合两用机".核技术 .1(1994):5.

入库方式: OAI收割

来源:高能物理研究所

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