硅基光波导化学传感器研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 尹小杰 ; 王玥; 张家顺; 安俊明
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2009 |
| 卷号 | 29期号:7页码:1983-1986 |
| 中文摘要 | 研究了基于硅基集成光波导的马赫-曾德干涉仪(MZI)型化学传感芯片的设计、制备及相关敏感特性的模拟和分析.传感芯片采用硅基二氧化硅光波导材料,利用与传统互补型金属氧化物半导体(CMOS)兼容的工艺技术制作.通过波导的单模设计以及对MZI结构的优化,获得了有效折射率分辨率达到10~(-7)量级的高灵敏度传感芯片.作为化学传感器,把MZI的其中一臂设计成传感臂.并进行适当的表面修饰,可制作出高灵敏度的干涉型光波导化学传感器.最后,对该传感器的折射率分辨率、敏感特性等进行了分析、模拟,同时,对面临的关键问题进行了分析和讨论. |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金,国家863计划 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15661]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尹小杰,王玥,张家顺,等. 硅基光波导化学传感器研究[J]. 光学学报,2009,29(7):1983-1986. |
| APA | 尹小杰,王玥,张家顺,&安俊明.(2009).硅基光波导化学传感器研究.光学学报,29(7),1983-1986. |
| MLA | 尹小杰,et al."硅基光波导化学传感器研究".光学学报 29.7(2009):1983-1986. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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