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纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能
文献类型：期刊论文
| 作者 | 季安 ; 刘剑; 李贵柯; 王晓东; 梁继然
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| 刊名 | 物理化学学报
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| 出版日期 | 2009 |
| 卷号 | 25期号:8页码:1523-1529 |
| 中文摘要 | 采用双离子束溅射方法在Si_3N_4/SiO_2/Si基底表面沉积氧化钒薄膜,在氮气气氛下热处理获得二氧化钒薄膜.利用x射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)研究了热处理温度对氧化钒薄膜晶体结构、表面形貌和组分的影响,利用傅里叶变换红外光谱(FT-IR)对二氧化钒薄膜的红外透射性能进行了测试分析.结果表明,所制备的氧化钒薄膜以非晶态V_2O_5;和四方金红石结构VO_2为主,经400℃、2 h热处理后获得了(011)择优取向的单斜金红石结构纳米VO_2薄膜,提高热处理温度至450℃,纳米结构VO_2薄膜的晶粒尺寸减小.FT-IR结果显示,纳米VO_2薄膜透射率对比因子超过0.99,高温关闭状态下透射率接近0.小晶粒尺寸纳米VO_2:薄膜更适合在热光开关器件领域应用. |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家高技术研究发展计划(863)项N,国家自然科学基金,天津市应用基础及前沿技术研究重点项目 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15735]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 季安,刘剑,李贵柯,等. 纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能[J]. 物理化学学报,2009,25(8):1523-1529. |
| APA | 季安,刘剑,李贵柯,王晓东,&梁继然.(2009).纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能.物理化学学报,25(8),1523-1529. |
| MLA | 季安,et al."纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能".物理化学学报 25.8(2009):1523-1529. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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