多阳极束形可变的冷阴极离子源的放电特性的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 饶雨生; 徐韬光
|
| 刊名 | 真空科学与技术;
 |
| 出版日期 | 1999 |
| 期号 | A10页码:122-125 |
| 关键词 | 离子源 冷阴极 离子束辅助淀积 薄膜 放电特性 |
| 中文摘要 | 研制了新型多阳极永磁冷阴极离子源，它可用于低能离子束辅助淀积、离子束刻蚀和离子束表面改性等领域。该新型离子源具有引出束形状、密度分布易于改变管制的优点，从而能预期离子束轰击靶面上的密度分布。本文研究了几种多阳极结构，其单元阳极为矩形或圆形。论述了子阳极几何形状及它们的布局对放电的影响，阐明了放电特性与气压、磁场和阳极纵宽比的关系。文中特别讨论了子阳极间沟道的作用。 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/217487]  |
| 专题 | 高能物理研究所_加速器中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 饶雨生,徐韬光. 多阳极束形可变的冷阴极离子源的放电特性的研究[J]. 真空科学与技术;,1999(A10):122-125. |
| APA | 饶雨生,&徐韬光.(1999).多阳极束形可变的冷阴极离子源的放电特性的研究.真空科学与技术;(A10),122-125. |
| MLA | 饶雨生,et al."多阳极束形可变的冷阴极离子源的放电特性的研究".真空科学与技术; .A10(1999):122-125. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。