用残余气体分析仪测量和计算分压强
文献类型：期刊论文
| 作者 | 肖琼 ; 彭晓华
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| 刊名 | 真空电子技术
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| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 5页码:16-17+21 |
| 关键词 | 残余气体分析 离子流 分压强 |
| 其他题名 | Measuring and Calculating the Partial Pressures with Residual Gas Analyzer |
| 通讯作者 | 肖琼 |
| 中文摘要 | 残余气体分析仪可以得到真空系统残余气体的质谱图,并给出各个质荷比峰的离子流值,但不能直接测量残余气体中各组分气体的分压强。在考虑到组分气体对某个峰的贡献可以线性叠加的基础上,本文介绍了峰的离子流与分压强、仪器灵敏度、传输几率和丰度之间的关系,从而得到了利用RGA质谱峰的离子流计算残余气体分压的公式。 |
| 公开日期 | 2016-02-25 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/217853]  |
| 专题 | 高能物理研究所_加速器中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖琼,彭晓华. 用残余气体分析仪测量和计算分压强[J]. 真空电子技术,2008(5):16-17+21. |
| APA | 肖琼,&彭晓华.(2008).用残余气体分析仪测量和计算分压强.真空电子技术(5),16-17+21. |
| MLA | 肖琼,et al."用残余气体分析仪测量和计算分压强".真空电子技术 .5(2008):16-17+21. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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