GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨晓红 ; 韩勤
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| 刊名 | 半导体光电
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| 出版日期 | 2009 |
| 卷号 | 30期号:2页码:187-190 |
| 中文摘要 | 采用传输矩阵理论和结合悬臂梁的电学一机械模型对GaAs基1.55 μm微光电机械系统(MOEMS)波长可调谐滤波器的光学和电学特性进行了深入的对比分析和研究.结果表明,采用800 nm厚的空气腔可以实现滤波器波长的调谐范围为100 nm,所需最大反向偏压为4 V,波长的调谐速率可以达到1.83 MHZ. |
| 英文摘要 | 采用传输矩阵理论和结合悬臂梁的电学一机械模型对GaAs基1.55 μm微光电机械系统(MOEMS)波长可调谐滤波器的光学和电学特性进行了深入的对比分析和研究.结果表明,采用800 nm厚的空气腔可以实现滤波器波长的调谐范围为100 nm,所需最大反向偏压为4 V,波长的调谐速率可以达到1.83 MHZ.; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:00:15导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:00:15Z (GMT). No. of bitstreams: 1 3748.pdf: 381393 bytes, checksum: 0dae6ffabaa3be211d254496bec17e1f (MD5) Previous issue date: 2009; 国家重点基础研究发展规划(973计划),国家高技术研究发展计划(863计划),国家自然科学基金; 中国科学院半导体研究所 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家重点基础研究发展规划(973计划),国家高技术研究发展计划(863计划),国家自然科学基金 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 ; 2011-04-28 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15847]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨晓红,韩勤. GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟[J]. 半导体光电,2009,30(2):187-190. |
| APA | 杨晓红,&韩勤.(2009).GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟.半导体光电,30(2),187-190. |
| MLA | 杨晓红,et al."GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟".半导体光电 30.2(2009):187-190. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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