用于大范围高精度实时位移测量的半导体激光干涉仪
文献类型：期刊论文
| 作者 | 何国田 ; 王向朝 ; 曾爱军 ; 唐锋 ; 黄炳杰 |
| 刊名 | Chin. Opt. Lett.
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 5期号:4页码:211 |
| 关键词 | 实时测量 光学检测 解包裹 干涉仪 半导体激光 Algorithms Interferometers Semiconductor lasers |
| ISSN号 | 1671-7694 |
| 其他题名 | Real-time displacement measurement with large range and high accuracy using sinusoidal phase modulating laser diode interferometer |
| 中文摘要 | 现有的半导体激光干涉仪存在测量精度与测量范围的矛盾。本文提出一种新的实时位移测量半导体激光干涉仪，并分析了干涉仪的测量原理。首先提出一种新的解相算法，它通过两路实时相位探测电路从干涉信号中得到待测量相位，消除了光强波动、初始光程差、电路放大倍数、调制深度、Bessel函数等参数对测量精度的影响，提高了测量精度。其次，提出一种扩大测量范围的技术，并用解包裹电路得到真实相位和待测量的位移, 将测量范围从半个波长提高到几个波长。在实验中，测得喇叭的峰峰值为2361.7nm，重复测量精度为2.56nm，测量时间为; To resolve the conflict of large measurement range and high accuracy in the existing real-time laser diode (LD) interferometers for displacement measurement, a novel real-time LD interferometry for displacement measurement is proposed and its measurement principle is analyzed. By use of a new phase demodulation algorithm and a new phase compensation algorithm of real-time phase unwrapping, the measurement accuracy is improved, and the measurement range is enlarged to a few wavelengths. In experiments, the peak-to-peak amplitude of the speaker vibration was 2361.7 nm, and the repeatability was 2.56 nm. The measurement time was less than 26 microseconds. |
| 学科主题 | 激光器;半导体激光器 |
| 收录类别 | EI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2009-09-18 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/1346]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何国田,王向朝,曾爱军,等. 用于大范围高精度实时位移测量的半导体激光干涉仪[J]. Chin. Opt. Lett.,2007,5(4):211, 214. |
| APA | 何国田,王向朝,曾爱军,唐锋,&黄炳杰.(2007).用于大范围高精度实时位移测量的半导体激光干涉仪.Chin. Opt. Lett.,5(4),211. |
| MLA | 何国田,et al."用于大范围高精度实时位移测量的半导体激光干涉仪".Chin. Opt. Lett. 5.4(2007):211. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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