GaN基垂直腔面发射激光器的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张保平 ; 蔡丽娥 ; 张江勇 ; 李水清 ; 尚景智 ; 王笃祥 ; 林峰 ; 林科闯 ; 余金中 ; 王启明 |
| 刊名 | 厦门大学学报. 自然科学版
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 47期号:5页码:617-619 |
| 中文摘要 | 作者在我国大陆首次实现了GaN基垂直腔面发射激光器（VCSEL）的激射．首先采用金属有机物化学气相沉积（MOCVD）技术在蓝宝石衬底上进行高质量氮化物增益区的外延生长．然后在表面沉积高反射介质膜分布布拉格反射镜（DBR）．将样品键合到其它支撑片上后，采用激光剥离技术将蓝宝石衬底去除．再在去除蓝宝石后露出的氮化物表面沉积第二组介质膜DBR制成VCSEL．在室温光泵条件下，观察到VCSEL的激射．激射波长449．5nm。阈值6．5mJ／cm~2．激射峰的半高宽小于0．1nm，这些指标达到了国际领先水平．本文为进一步研制实用化氮化物VCSEL奠定了重要的基础． |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 科技部国家高科技研究发展计划（863计划）资助 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15965]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张保平,蔡丽娥,张江勇,等. GaN基垂直腔面发射激光器的研制[J]. 厦门大学学报. 自然科学版,2008,47(5):617-619. |
| APA | 张保平.,蔡丽娥.,张江勇.,李水清.,尚景智.,...&王启明.(2008).GaN基垂直腔面发射激光器的研制.厦门大学学报. 自然科学版,47(5),617-619. |
| MLA | 张保平,et al."GaN基垂直腔面发射激光器的研制".厦门大学学报. 自然科学版 47.5(2008):617-619. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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