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磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响

文献类型:期刊论文

作者王博
刊名物理学报
出版日期2007
卷号56期号:9页码:5536-5541
中文摘要高温退火后掺铁半绝缘(SI)InP单晶转变为n型低阻材料.利用霍尔效应(Hall),热激电流谱(TSC),深能级瞬态谱(DLTS),X射线衍射等方法分别研究了退火前后InP材料的性质和缺陷.结果表明受高温热激发作用部分铁原子由替位转变为填隙,导致InP材料缺少深能级补偿中心而发生导电类型转变.通过比较掺杂、扩散和离子注入过程Fe原子的占位和激活情况分析了这一现象的机理和产生原因.
英文摘要高温退火后掺铁半绝缘(SI)InP单晶转变为n型低阻材料.利用霍尔效应(Hall),热激电流谱(TSC),深能级瞬态谱(DLTS),X射线衍射等方法分别研究了退火前后InP材料的性质和缺陷.结果表明受高温热激发作用部分铁原子由替位转变为填隙,导致InP材料缺少深能级补偿中心而发生导电类型转变.通过比较掺杂、扩散和离子注入过程Fe原子的占位和激活情况分析了这一现象的机理和产生原因.; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:01:32导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:01:32Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4008.pdf: 403256 bytes, checksum: 316a88cd63efb2ad145f5aec217ed143 (MD5) Previous issue date: 2007; 中国科学院半导体研究所;四川大学物理学院应用物理系
学科主题半导体材料
收录类别CSCD
语种中文
公开日期2010-11-23 ; 2011-04-28
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16231]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
王博. 磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响[J]. 物理学报,2007,56(9):5536-5541.
APA 王博.(2007).磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响.物理学报,56(9),5536-5541.
MLA 王博."磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响".物理学报 56.9(2007):5536-5541.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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