聚焦离子束研制半导体材料光子晶体
文献类型：期刊论文
| 作者 | 许兴胜
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| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 56期号:2页码:916-921 |
| 中文摘要 | 介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体，给出了相关微加工结果。发现微加工的尺寸和理论设计尺寸相吻合；测试了所加工的无源光子晶体光子带隙和有源光子晶体的发光谱．实验证明聚焦离子束可以研制二维光子晶体及相关光子晶体器件． |
| 英文摘要 | 介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体，给出了相关微加工结果。发现微加工的尺寸和理论设计尺寸相吻合；测试了所加工的无源光子晶体光子带隙和有源光子晶体的发光谱．实验证明聚焦离子束可以研制二维光子晶体及相关光子晶体器件．; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:01:55导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:01:55Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4084.pdf: 495051 bytes, checksum: fa91579e67ded6dc86c07d92b28daa09 (MD5) Previous issue date: 2007; 国家自然科学基金资助的课题; 中国科学院半导体研究所;中国科学院物理研究所 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金资助的课题 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 ; 2011-04-28 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16341]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许兴胜. 聚焦离子束研制半导体材料光子晶体[J]. 物理学报,2007,56(2):916-921. |
| APA | 许兴胜.(2007).聚焦离子束研制半导体材料光子晶体.物理学报,56(2),916-921. |
| MLA | 许兴胜."聚焦离子束研制半导体材料光子晶体".物理学报 56.2(2007):916-921. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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