基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 侯识华 ; 陈良惠
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| 刊名 | 半导体光电
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 27期号:5页码:543-546 |
| 中文摘要 | 采用表面微机械技术制作了一种1310 nm基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot光滤波器.该滤波器的通光孔直径约为70 μm,在1.4 V的调谐电压下,调谐范围达到15 nm.并采用光学传输矩阵方法,分析了斜入射对这种可调谐光滤波器透射谱的峰值半高宽的影响. |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家高技术研究发展计划资助项目 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16493]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 侯识华,陈良惠. 基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器[J]. 半导体光电,2006,27(5):543-546. |
| APA | 侯识华,&陈良惠.(2006).基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器.半导体光电,27(5),543-546. |
| MLA | 侯识华,et al."基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器".半导体光电 27.5(2006):543-546. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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