溅射离子泵的寿命试验
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高见进; 福本定吉; 陆经 |
| 刊名 | 真空技术报导
 |
| 出版日期 | 1977 |
| 期号 | 6页码:80-90 |
| 关键词 | 质子同步加速器 溅射离子泵 寿命试验 泵单元 氢气压力 氢分子 阴极板 注入器 气流量 表面位 |
| 中文摘要 | ＫＥＫ质子同步加速器的予注入器用了四个１０００升／秒的溅射离子系来抽双等离子体离子源的大量气体负载。为了估计泵单元的寿命，一个５００升／秒二极溅射泵在大约３×１０－５乇氢气压力下运行１０００小时以上。泵单元稍微作了改进以防止钛阴极板的变形。抽速由一个１Ｃｍ直径的园形小孔的两边压差来确定。即使钛板几乎没有变化，但抽速从开始时的５００升／秒减小到试验终了时的３５０升／秒。化学分析表明氢分子不是均匀地扩散在整块钛板上的。 |
| 公开日期 | 2016-02-26 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/220043]  |
| 专题 | 高能物理研究所_实验物理中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高见进,福本定吉,陆经. 溅射离子泵的寿命试验[J]. 真空技术报导,1977(6):80-90. |
| APA | 高见进,福本定吉,&陆经.(1977).溅射离子泵的寿命试验.真空技术报导(6),80-90. |
| MLA | 高见进,et al."溅射离子泵的寿命试验".真空技术报导 .6(1977):80-90. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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