飞秒激光加工微光学元件的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孙晓慧 ; 周常河 |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 33期号:1页码:133 |
| 关键词 | 激光技术 飞秒激光 表面加工 烧蚀 微光学 |
| ISSN号 | 0258-7025 |
| 中文摘要 | 利用低功率飞秒激光振荡器进行材料表面加工的研究并将其应用于微光学元件的加工制作领域；对飞秒激光倍频光以及飞秒激光与光刻胶材料相互作用进行了实验；以光刻胶作为牺牲层进行表面加工获得了各种玻璃光栅及光掩模板；利用光学显微镜和原子力显微镜（AFM）对实验结果进行检测，得到微米量级的特征线宽；所得光栅的光学性能通过HeNe激光器进行检测，实验结果与理论值一致。该研究为微光学元件的加工制作提供了新的方法。 |
| 学科主题 | 激光应用;激光加工 |
| 分类号 | TN249;TN405 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/1472]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙晓慧,周常河. 飞秒激光加工微光学元件的研究[J]. 中国激光,2006,33(1):133, 137. |
| APA | 孙晓慧,&周常河.(2006).飞秒激光加工微光学元件的研究.中国激光,33(1),133. |
| MLA | 孙晓慧,et al."飞秒激光加工微光学元件的研究".中国激光 33.1(2006):133. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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