微细加工新技术—LIGA技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 伊福廷 ; 吴坚武; 冼鼎昌
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 1993 |
| 期号 | 4页码:1--7 |
| 关键词 | 同步辐射曝光 电铸 塑铸 微细加工 |
| 其他题名 | LIGA TECHNIQUE FOR MICROSTRUCTURE FABRICATION |
| 通讯作者 | 伊福廷 |
| 中文摘要 | LIGA技术是近几年才开展起来的一门新技术,是微细加工的一种新方法。本文对这一技术,从简单工艺过程到每个具体工序环节都详细、深入地进行了介绍。LIGA技术是由光刻、电铸、塑铸三个环节组成,尤刻以同步辐射深度X光曝光为主。由于同步辐射X光有非常好的平行性、极高的辐射强度、连续的光谱,使这项技术能够制造出高宽比大到100、厚度可达几百微米、结构侧壁平行线偏差在亚微米范围内的微米级三维立体结构。通过电铸、塑铸就可将这一结构转换成金属或塑料的微结构产品。 这项技术在短短几年的发展过程中,已制造出电机、齿轮、发动机、涡轮、联杆、单色器、光纤联接器、电联接器、喷嘴、泵、阀、加速度传感器等微型结构与器件,被... |
| 公开日期 | 2016-02-26 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/215152]  |
| 专题 | 高能物理研究所_院士 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 伊福廷,吴坚武,冼鼎昌. 微细加工新技术—LIGA技术[J]. 微细加工技术,1993(4):1--7. |
| APA | 伊福廷,吴坚武,&冼鼎昌.(1993).微细加工新技术—LIGA技术.微细加工技术(4),1--7. |
| MLA | 伊福廷,et al."微细加工新技术—LIGA技术".微细加工技术 .4(1993):1--7. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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