用同步辐射小角衍射方法研究多层膜周期结构
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王俊; 崔明启 ; 徐文轩; 黄宇营; 王德武; 刘建飞; 冼鼎昌
|
| 刊名 | 高能物理与核物理
 |
| 出版日期 | 1994 |
| 期号 | 1页码:13-20 |
| 关键词 | 同步辐射 磁控溅射 多层膜 小角衍射 结构分析 |
| 其他题名 | STUDY ON STRUCTURE OF MULTILAYERS BY SYNCHROTRON RADIATION SMALL ANGLE DIFFRACTION METHOD |
| 通讯作者 | 王俊 |
| 中文摘要 | 用磁控溅射方法制备的Ｗ／Ｓｉ、Ｎｂ／Ｓｉ多层膜在北京正负电子对撞机同步辐射装置衍射实验站进行了掠入射Ｂｒａｇｇ衍射实验，对多层膜结构的周期性、周期厚度、组分等进行了分析，并与模拟计算结果进行了比较． |
| 公开日期 | 2016-02-26 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/215173]  |
| 专题 | 高能物理研究所_院士 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王俊,崔明启,徐文轩,等. 用同步辐射小角衍射方法研究多层膜周期结构[J]. 高能物理与核物理,1994(1):13-20. |
| APA | 王俊.,崔明启.,徐文轩.,黄宇营.,王德武.,...&冼鼎昌.(1994).用同步辐射小角衍射方法研究多层膜周期结构.高能物理与核物理(1),13-20. |
| MLA | 王俊,et al."用同步辐射小角衍射方法研究多层膜周期结构".高能物理与核物理 .1(1994):13-20. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。