电铸在LIGA技术中的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 伊福廷 ; 晋明; 吴坚武; 冼鼎昌
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 1995 |
| 期号 | 3页码:49-52 |
| 关键词 | 微细加工 LIGA技术 电铸 |
| 其他题名 | FABRICATION OF MICROSTRUCTURES USING ELECTRODEPOSITION |
| 通讯作者 | 伊福廷 |
| 中文摘要 | 近年来，电铸在微细加工中的应用得到了较快发展，尤其在近几年高速发展的ＬＩＧＡ技术的掩模加工和其应用产品中，该技术充分体现出了它的优越性能和潜在的应用前景。本文结合ＬＩＧＡ技术掩模的加工及其电铸产品，用已取得的实验结果来说明电铸的应用潜力。 |
| 公开日期 | 2016-02-26 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/215221]  |
| 专题 | 高能物理研究所_院士 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 伊福廷,晋明,吴坚武,等. 电铸在LIGA技术中的应用[J]. 微细加工技术,1995(3):49-52. |
| APA | 伊福廷,晋明,吴坚武,&冼鼎昌.(1995).电铸在LIGA技术中的应用.微细加工技术(3),49-52. |
| MLA | 伊福廷,et al."电铸在LIGA技术中的应用".微细加工技术 .3(1995):49-52. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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