利用LIGA技术制造夹钳
文献类型：期刊论文
| 作者 | 伊福廷 ; 唐鄂生; 张菊芳; 晋明; 冼鼎昌
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 1999 |
| 期号 | 3页码:54-57 |
| 关键词 | LIGA技术 微机械 微机器人 |
| 通讯作者 | 伊福廷 |
| 中文摘要 | 在航天、国防、医学、核物理等领域，有着对仪器设备向小型化、复杂化、集成化方向发展的要求。在这一动力驱动下，精密机械加工、 Ｌ Ｉ Ｇ Ａ 技术以及硅技术有了长足发展，制造出许多部件和产品。但对于复杂的微机电系统，单靠这些技术难以实现，需要进行系统的装配工作。微夹钳也是在这一需求下发展起来的。除此之外，在细胞操作和其他微细操作过程中也迫切需要这样的执行软件。本文利用 Ｌ Ｉ Ｇ Ａ 技术进行了这方面的研究工作，并得到了一些结果。 |
| 公开日期 | 2016-02-26 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/215365]  |
| 专题 | 高能物理研究所_院士 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 伊福廷,唐鄂生,张菊芳,等. 利用LIGA技术制造夹钳[J]. 微细加工技术,1999(3):54-57. |
| APA | 伊福廷,唐鄂生,张菊芳,晋明,&冼鼎昌.(1999).利用LIGA技术制造夹钳.微细加工技术(3),54-57. |
| MLA | 伊福廷,et al."利用LIGA技术制造夹钳".微细加工技术 .3(1999):54-57. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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