薄膜测厚仪
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王朝俊; 何景棠; 张英平; 郑志鹏 ; 唐孝威
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| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 1977 |
| 期号 | 4页码:377-380 |
| 关键词 | 薄膜测厚仪 薄膜厚度 有机薄膜 脉冲幅度 半导体探测器 醋酸乙烯 光学方法 能量损失 面密度 α粒子 |
| 其他题名 | THICKNESS GAUGE FOR THE MEASUREMENT OF THIN FOILS |
| 通讯作者 | 王朝俊 |
| 中文摘要 | 许多物理实验要用很薄的膜,如薄靶、薄吸收片、薄窗等,并且要知道所用薄膜的厚度(或面密度)。测量薄膜厚度的方法有称重方法、光学方法、电学方法和放射性方法等。这些方法适用于测量不同厚度的薄膜,准确度也不同。我们制备了一台简便的α粒子薄膜测厚仪,并且用它测量了厚度从10微克/厘米~2到数百微克/厘米~2的VYNS有机薄膜的厚度(VYNS是氯乙烯和醋酸乙烯的共聚物)。 |
| 公开日期 | 2016-02-26 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/215705]  |
| 专题 | 高能物理研究所_院士 高能物理研究所_实验物理中心 高能物理研究所_粒子天体物理中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王朝俊,何景棠,张英平,等. 薄膜测厚仪[J]. 物理学报,1977(4):377-380. |
| APA | 王朝俊,何景棠,张英平,郑志鹏,&唐孝威.(1977).薄膜测厚仪.物理学报(4),377-380. |
| MLA | 王朝俊,et al."薄膜测厚仪".物理学报 .4(1977):377-380. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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