用于神经电信号记录的多通道微探针
文献类型：期刊论文
| 作者 | 裴为华
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| 刊名 | 传感技术学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 19期号:5A页码:1419-1421 |
| 中文摘要 | 以体硅为衬底，采用微机械加工技术(MEMS)制作了七通道的可植入到脑皮层的微探针，用于记录神经电信号．从生物相容性、减小植入损伤、工艺制作难度等方面考虑，制作了以二氧化硅／硅(SiO_2／Si)为主体的微探针，并详述了其具体制作工艺流程．扫描电镜(SEM)照片显示微探针针长3 mm、针宽100 μm、针厚约为20μm，各个记录点直径10μm、间距120μm，实现了各通道之间良好的信号隔离．微探针距离针尖1 mm范围内的针宽以一定弧度由100μm逐渐变窄，同时针尖锥角为6°，此种结构有利于减小植入时对脑组织的损伤．通过体外测试得到，当频率由10 kHz增加到10 MHz时，微电极各个通道阻抗由150.5 kΩ降低到6.0 kΩ． |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家高技术研究发展计划资助,国家自然科学基金资金 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16541]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 裴为华. 用于神经电信号记录的多通道微探针[J]. 传感技术学报,2006,19(5A):1419-1421. |
| APA | 裴为华.(2006).用于神经电信号记录的多通道微探针.传感技术学报,19(5A),1419-1421. |
| MLA | 裴为华."用于神经电信号记录的多通道微探针".传感技术学报 19.5A(2006):1419-1421. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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