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硅基1.55μm可调谐共振腔窄带光电探测器的研究

文献类型:期刊论文

作者左玉华; 成步文
刊名光子学报
出版日期2005
卷号34期号:12页码:1783-1787
中文摘要制作了一种低成本硅基1.55μm可调谐共振腔增强型探测器.首次获得硅基长波长可调谐共振腔探测器的窄带响应,共振峰量子效率达44%,峰值半高宽为12.5nm,调谐范围14.5nm,并且获得1.8GHz的高频响应.本制作工艺不复杂,成本低,有望用于工业生产.
英文摘要制作了一种低成本硅基1.55μm可调谐共振腔增强型探测器.首次获得硅基长波长可调谐共振腔探测器的窄带响应,共振峰量子效率达44%,峰值半高宽为12.5nm,调谐范围14.5nm,并且获得1.8GHz的高频响应.本制作工艺不复杂,成本低,有望用于工业生产.; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:03:40导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:03:40Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4355.pdf: 318692 bytes, checksum: a6075727788ffdbc60afbfbc7876a2d5 (MD5) Previous issue date: 2005; 国家重点基础研究发展规划973项目,863项目,国家自然科学基金资助; 中国科学院半导体研究所
学科主题光电子学
收录类别CSCD
资助信息国家重点基础研究发展规划973项目,863项目,国家自然科学基金资助
语种中文
公开日期2010-11-23 ; 2011-04-29
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16781]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
左玉华,成步文. 硅基1.55μm可调谐共振腔窄带光电探测器的研究[J]. 光子学报,2005,34(12):1783-1787.
APA 左玉华,&成步文.(2005).硅基1.55μm可调谐共振腔窄带光电探测器的研究.光子学报,34(12),1783-1787.
MLA 左玉华,et al."硅基1.55μm可调谐共振腔窄带光电探测器的研究".光子学报 34.12(2005):1783-1787.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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