激光微束背部辐照芯片试验的聚焦平面定位装置及方法
文献类型：专利
| 作者 | 马英起; 韩建伟; 封国强; 姜昱光; 上官士鹏; 余永涛; 朱翔; 陈睿 |
| 发表日期 | 2015-06-19 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 中文摘要 | 本发明提供了激光微束背部辐照芯片试验的聚焦平面定位装置，用于对被测器件进行聚焦平面定位，所述装置包括试验用激光源(1)、聚焦光路调节模块(2)、成像CCD模块(3)、三维移动台(4)及三维移动台控制模块(5)；所述试验用激光源(1)用于发射固定参数的脉冲激光；所述聚焦光路调节模块(2)用于对所述试验用激光源(1)发射的脉冲激光进行调节；所述成像CCD模块(3)用于对被测器件的激光反射光斑进行成像；所述三维移动台(4)用于放置被测器件试验电路板；所述三维移动台控制模块(5)用于接收所述成像CCD模块(3)输出的反射光斑成像信号，进行成像对比度检测后形成反馈信号指令，自动调节所述三维移动台(4)的位置。 |
| 公开日期 | 2016-03-01 |
| 分类号 | G01N21/88(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN201510347659.9 |
| 源URL | [http://ir.nssc.ac.cn/handle/122/5238]  |
| 专题 | 国家空间科学中心_保障部/保障与试验验证中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马英起,韩建伟,封国强,等. 激光微束背部辐照芯片试验的聚焦平面定位装置及方法. 2015-06-19. |
入库方式： OAI收割
来源：国家空间科学中心
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