类金刚石薄膜在硅基底上的沉积和热导率
文献类型：会议论文
| 作者 | 艾立强; 陈民; 熊大曦 |
| 出版日期 | 2015 |
| 会议名称 | 2015年中国工程热物理学会传热传质学学术年会 |
| 会议日期 | 2015 |
| 会议地点 | 大连 |
| 关键词 | 类金刚石薄膜 硅基底 化学沉积 面向热导率 分子动力学模拟 |
| 通讯作者 | mchen@tsinghua.edu.cn |
| 学科主题 | 热传导 |
| 源URL | [http://ir.etp.ac.cn/handle/311046/107576]  |
| 专题 | 工程热物理研究所_中国工程热物理学会论文_会议论文 |
| 作者单位 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 艾立强,陈民,熊大曦. 类金刚石薄膜在硅基底上的沉积和热导率[C]. 见:2015年中国工程热物理学会传热传质学学术年会. 大连. 2015. |
入库方式： OAI收割
来源：工程热物理研究所
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